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橢偏儀

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。 主要是利用線偏振光經樣品反射后轉變為橢圓偏振光來獲得薄膜樣品的一些基本參數。該橢偏儀由包含四種不同波長的光源,不存在厚度周期性問題,可適用于透明膜、半透明膜及金屬膜等。透明膜可提供厚度可達1μm,1秒的采譜時間,測量精度可達0.001nm。此外該設備可用于原位測量與ALD等設備聯用。